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とは 【高誘電率ゲート絶縁膜】 - 意味/解説/説明/定義 : IT
...
High-k
とは:
トランジスタ
の「ゲート絶縁膜」の種類の一つで、高誘電率の素材を使ったもの。従来、
トランジスタ
のゲート絶縁膜には二酸化ケイ素(SiO2)が用いられてきたが、 微細化・集積化が進むにつれて、その膜の厚さは原子数個分まで薄くなり、量子 ...
表面物理学 - Wikipedia
こうした絶縁膜は
high-k
絶縁膜とも呼ばれ、
半導体
メーカー各社が熾烈な開発競争を展開している。ハフニウムを用いた
high-k
絶縁膜は、従来のシリコン絶縁膜よりも大幅なトンネル電流の削減に成功しており、これを用いた
半導体
チップ
も製造されている。 ...
半導体の低消費電力技術 - Wikipedia
両者は全く逆の対応が必要であり、前者の場合は薄くても誘電率の低い(low-k)材料や空隙を利用することが解決策になるのに対し、後者は薄くせずに大きな誘電率を確保できる材料、すなわち誘電率の高い(
High-k
)材料を利用する必要がある。 ...
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