EUVリソグラフィ

EUVリソグラフィに関するインターネット検索結果

EUVリソグラフィとは 【超紫外線露光技術】 (Extreme Ultraviolet ...
EUVリソグラフィとは:極めて波長の短い超紫外線を用いて、シリコンウエハに微細な回路イメージを焼き付ける技術。電子ビームリソグラフィと並んで、次世代コンピュータチップ開発のための有望な技術とされている。現在チップ製造に用いられているの ...
超紫外線露光技術とは 【EUVリソグラフィ】 - 意味/解説/説明/定義 ...
超紫外線露光技術とは:極めて波長の短い超紫外線を用いて、シリコンウエハに微細な回路イメージを焼き付ける技術。電子ビームリソグラフィと並んで、次世代コンピュータチップ開発のための有望な技術とされている。現在チップ製造に用いられているの ...
紫外線 - Wikipedia
研究段階ではEUV、X線を用いた露光装置もある。 この様なフォトリソグラフィ半導体ICのみならず、プリント基板の製造においても使用されており、紫外線はエレクトロニクス産業では広く使用されている。 ...

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