高誘電率ゲート絶縁膜 | ASAHIネット
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高誘電率ゲート絶縁膜
とは 【High-k】 - 意味/解説/説明/定義 : IT
...
高誘電率ゲート絶縁膜
とは:
トランジスタ
の「ゲート絶縁膜」の種類の一つで、高誘電率の素材を使ったもの。従来、
トランジスタ
のゲート絶縁膜には二酸化ケイ素(SiO2)が用いられてきたが、微細化・集積化が進むにつれて、その膜の厚さは原子数個分まで薄く ...
誘電
体 - Wikipedia
薄膜化に代わる静電容量を増大させる方法として、
ゲート絶縁膜
を従来の
誘電率
が低いSiO2系材料から
高誘電率絶縁膜
(
High-k
絶縁膜
)にする必要性が高まってきている。有望な
高誘電率絶縁膜
としてHfO2系材料などが挙げられる。 ...
メタル
ゲート
とは 【metal gate】 - 意味/解説/説明/定義 : IT用語辞典
Intel
社は
ゲート絶縁膜
の素材として、過去30年間使用されてきた二酸化ケイ素にかえて、
高誘電率
の素材を使った
絶縁膜
(
High-k
絶縁膜
)を開発した。当初、この
絶縁膜
は今まで使っていたシリコン原子の
ゲート
とはうまく動作しなかったが、金属製の ...
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