高誘電率ゲート絶縁膜

高誘電率ゲート絶縁膜に関するインターネット検索結果

高誘電率ゲート絶縁膜とは 【High-k】 - 意味/解説/説明/定義 : IT ...
高誘電率ゲート絶縁膜とは:トランジスタの「ゲート絶縁膜」の種類の一つで、高誘電率の素材を使ったもの。従来、トランジスタのゲート絶縁膜には二酸化ケイ素(SiO2)が用いられてきたが、微細化・集積化が進むにつれて、その膜の厚さは原子数個分まで薄く ...
誘電体 - Wikipedia
薄膜化に代わる静電容量を増大させる方法として、ゲート絶縁膜を従来の誘電率が低いSiO2系材料から高誘電率絶縁膜High-k絶縁膜)にする必要性が高まってきている。有望な高誘電率絶縁膜としてHfO2系材料などが挙げられる。 ...
メタルゲートとは 【metal gate】 - 意味/解説/説明/定義 : IT用語辞典
Intel社はゲート絶縁膜の素材として、過去30年間使用されてきた二酸化ケイ素にかえて、高誘電率の素材を使った絶縁膜(High-k絶縁膜)を開発した。当初、この絶縁膜は今まで使っていたシリコン原子のゲートとはうまく動作しなかったが、金属製の ...

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