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超紫外線露光技術
とは 【EUVリソグラフィ】 - 意味/解説/説明/定義
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超紫外線露光技術
とは:極めて波長の短い超紫外線を用いて、シリコンウエハに微細な回路イメージを焼き付ける技術。電子ビーム
リソグラフィ
と並んで、次世代コンピュータ
チップ
開発のための有望な技術とされている。現在
チップ
製造に用いられているの ...
EUVリソグラフィとは 【
超紫外線露光技術
】 (Extreme Ultraviolet
...
EUVリソグラフィ
とは:極めて波長の短い
超紫外線
を用いて、シリコンウエハに微細な回路イメージを焼き付ける
技術
。電子ビーム
リソグラフィ
と並んで、次世代コンピュータ
チップ
開発のための有望な
技術
とされている。現在
チップ
製造に用いられているの ...
EUVリゾグラフィ - 意味・説明・解説 : ASCII.jpデジタル用語辞典
いーゆーぶいりぞぐらふぃ 【EUVリゾグラフィ】 Extreme Ultraviolet risography.
超 紫外線露光技術
。従来のDUV(遠紫外線)リゾグラフィに比べて、20分の1程度という極めて波長の短い超紫外線を利用することで、非常に微細な回路パターンをシリコン ...
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