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エピタキシ
とは 【epitaxy】 - 意味/解説/説明/定義 : IT用語辞典
エピタキシ
とは:元となる結晶(基板に用いられる結晶)と特定の方位関係にある結晶膜を堆積成長させる方法のこと。分子線を用いたものを分子線エキタピシと言い、超高真空中で目的の結晶を構成する元素あるいは元素を含む材料を加熱蒸発させて、加熱された ...
エピタキシャル成長とは 【
エピタキシ
】 - 意味/解説/説明/定義 : IT
...
エピタキシャル成長
とは:元となる結晶(基板に用いられる結晶)と特定の方位関係にある結晶膜を堆積成長させる方法のこと。分子線を用いたものを分子線エキタピシと言い、超高真空中で目的の結晶を構成する元素あるいは元素を含む材料を加熱蒸発させて、 ...
エピタキシャル成長 - Wikipedia
基板と薄膜が同じ物質である場合をホモ
エピタキシャル
、異なる物質である場合をヘテロ
エピタキシャル
と呼ぶ。結晶成長の方法として分子線エピタキシー法や有機金属気相成長法、液相エピタキシー法などがある。
エピタキシャル成長
が起こるには格子定数の ...
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